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半自動晶圓減薄機

主要用途:

本設備主要用於矽片、陶瓷、鍺片、砷化镓、铌酸鋰、石英玻璃等晶體材料的減薄。

設備原理及特點:

1、本機采用先進的國際知名品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現人機界麵,操作簡單一目了然。

2、配備氣壓壓力檢測傳感器,當氣壓小於設備設置的正常加工所需的最小壓力時設備報警,防止工件吸不牢。

3、帶砂輪扭矩控製,當扭矩高於設備設置的正常加工所產生的扭矩時設備報警,防止設備異常或者誤操作時撞刀損壞機器配件。

4、帶砂輪電流監測功能,當冷砂輪高於設備設置的正常加工所產生的最大電流時砂輪回彈,回彈距離可調,防止砂輪擠壓工件造成損壞。

5、帶磨輪損耗量的自動補償功能,防止因砂輪在磨削產品的同時產生的消耗影響工件的加工精度。

6、設備可根據客戶需求選擇加裝砂輪在線修整功能。

7、設備可根據客戶需求選擇加裝在線測厚功能。

產品詳情

主要技術參數:

型號

FD-150A

FD-200A

FD-300A

FD-550A

加工產品尺寸

≦150mm

≦200mm

≦300mm

≦0550mm

真空吸盤轉速

0-300rpm/min

0-300rpm/min

0-300rpm/min

0-300rpm/min

吸盤電機功率

2.2KW380V3相

2.2KW 380V3相

2.2KW380V 3相

2.2KW380V3相

光柵控製係統

分辨率0.0005mm

分辨率0.0005mm

分辨率0.0005mm

分辨率0.0005mm

磨輪轉速

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

磨輪馬達功率

5.5kw

5.5kw

5.5kw

5.5kw

產品減薄後TTV

≦2um (6寸產品為例)

≦2um(8寸產品為例)

≦3um(12寸產品為例)

≦3um(12寸產品為例)

產品減薄後粗糙度

Ra0.002-0.8可調

Ra0.002-0.8可調

Ra0.002-0.8可調

Ra0.002-0.8可調

最小減薄厚度

≥60um

≥80um

≥100um

≥100um

磨輪重複定位精度

1um

1um

1um

1um

磨輪最小設定步距

0.1um/s

0.1um/s

0.1um/s

0.1um/s

水箱尺寸

780x480x550mm

780x480x550mm

780x480x550mm

780x480x550mm

設備尺寸

1200x1250x2050mm

1200x1250x2050mm

1200x1250x2050mm

1300x1350x2150mm

重量

1700KG

1700KG

1850KG

1850KG

在線詢盤
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聯係人:劉潔霞
電話:13622378685
郵件:ljx@hbywjc.com
地址:深圳市光明新區上村社區夜色在线视频工業園

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